走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバー駆動装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：大野聖二 , 森田耕司 , 田中玲子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007518942
Patent number：5164147
Application date： May. 26, 2006
Claim (excerpt)：

【請求項1】カンチレバーと、前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、前記カンチレバーに光を照射して熱膨張変形を生じさせる光照射部と、前記光照射部の光の強度を制御して前記カンチレバーの変位を変化させる光照射制御部と、を備え、前記光照射制御部は、前記センサにより検出された変位に基づいて前記光照射部の光の強度を制御することによって前記カンチレバーのフィードバック制御を行い、前記光照射制御部は、前記光照射部からの光の照射に対する前記カンチレバーの熱応答の遅れを補償する熱応答補償部を備えており、前記熱応答補償部は、前記カンチレバーの熱伝達関数の逆伝達関数と等価な構成を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01Q 20/02 ( 201 0.01) , G01Q 60/32 ( 201 0.01)

FI (2)：

G01Q 20/02 , G01Q 60/32

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

表面電位読み取り装置
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Cited by examiner (6)

原子間力顕微鏡用能動型探針及びその使用方法
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Article cited by the Patent：

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