マイクロプローブおよび試料表面測定装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000040032
Publication number (International publication number)：2001228074
Application date： Feb. 17, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】カンチレバー上にピエゾ抵抗体を形成することで微動させることを可能にしたマイクロプローブおよびそのマイクロプローブを用いた試料表面測定装置を提供すること。【解決手段】探針11が形成された自由端を有する第1のレバー部16と、先端部において第1のレバー部16が突出した第2のレバー部18と、第2のレバー部16を支持する支持部15と、でマイクロプローブ10を構成し、第2のレバー部18上にその第2のレバー部18を屈曲させるためのピエゾ抵抗体14を設ける。

Claim (excerpt)：

自由端を有する第1のレバー部と、先端部において前記第1のレバー部が突出した第2のレバー部と、前記第2のレバー部を支持する支持部と、でカンチレバーを構成したマイクロプローブにおいて、前記第2のレバー部上に当該第2のレバー部を屈曲させるための第1のピエゾ抵抗体が設けられたことを特徴とするマイクロプローブ。

IPC (4)：

G01N 13/16 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G12B 21/08

FI (4)：

G01N 13/16 C , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z , G12B 1/00 601 D

F-Term (30)：

2F063AA04 , 2F063AA43 , 2F063CA34 , 2F063DA01 , 2F063DB05 , 2F063DD02 , 2F063EA16 , 2F063EB01 , 2F063EB15 , 2F063EB23 , 2F063EC03 , 2F063EC15 , 2F063EC20 , 2F063EC26 , 2F063MA05 , 2F063ZA01 , 2F069AA04 , 2F069AA60 , 2F069DD27 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG17 , 2F069HH04 , 2F069JJ08 , 2F069LL03 , 2F069LL10 , 2F069MM04 , 2F069MM24 , 2F069MM32 , 2F069RR09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

微小変位型情報検知探針素子及びこれを用いた走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-159852 Applicant：キヤノン株式会社
特開平4-001949
特開平4-072504

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