Pat
J-GLOBAL ID:201303013396613576
非晶質炭素膜、非晶質炭素膜の形成方法、非晶質炭素膜を備えた導電性部材および燃料電池用セパレータ
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
大川 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012016256
Publication number (International publication number):2013155406
Application date: Jan. 30, 2012
Publication date: Aug. 15, 2013
Summary:
【課題】導電性および親水性を両立し、燃料電池用セパレータ等に適した表面性状を示す非晶質炭素膜を提供する。【解決手段】炭素を主成分とし、水素を30at%以下、窒素を20at%以下および酸素を3at%以下(いずれも0at%を除く)含み、かつ、該炭素の全体量を100at%としたときに、sp2混成軌道をもつ炭素量が70at%以上100at%未満である非晶質炭素膜であって、窒素および酸素が膜表面側に濃化して存在し、X線光電子分光法によって表層から検出される酸素の含有率が4at%以上15at%以下、窒素の含有率が10at%以上30at%以下である。【選択図】なし
Claim (excerpt):
炭素を主成分とし、水素を30at%以下、窒素を20at%以下および酸素を3at%以下(いずれも0at%を除く)含み、かつ、該炭素の全体量を100at%としたときに、sp2混成軌道をもつ炭素量が70at%以上100at%未満である非晶質炭素膜であって、
窒素および酸素が膜表面側に濃化して存在し、X線光電子分光法によって表層から検出される酸素の含有率が4at%以上15at%以下、窒素の含有率が10at%以上30at%以下であることを特徴とする非晶質炭素膜。
IPC (4):
C23C 16/26
, H01M 8/02
, C23C 16/50
, C01B 31/02
FI (5):
C23C16/26
, H01M8/02 B
, H01M8/02 Y
, C23C16/50
, C01B31/02 101Z
F-Term (51):
4G146AA17
, 4G146AB07
, 4G146AC15A
, 4G146AC15B
, 4G146AC16B
, 4G146AC20B
, 4G146AC27A
, 4G146AC27B
, 4G146AC30A
, 4G146AC30B
, 4G146AD02
, 4G146AD16
, 4G146AD22
, 4G146AD24
, 4G146BA12
, 4G146BA15
, 4G146BA40
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC27
, 4G146BC29
, 4G146BC31A
, 4G146BC31B
, 4G146BC38B
, 4G146DA03
, 4G146DA23
, 4G146DA40
, 4G146DA46
, 4K030AA01
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA28
, 4K030BB05
, 4K030CA02
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 5H026AA06
, 5H026BB00
, 5H026BB04
, 5H026CX04
, 5H026EE02
, 5H026EE05
, 5H026EE08
, 5H026EE17
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
-
成膜方法及び成膜装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-139602
Applicant:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社, 日本電子工業株式会社
-
燃料電池用セパレータおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-288502
Applicant:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社
-
配向性非晶質炭素膜およびその形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-288530
Applicant:株式会社豊田中央研究所
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Cited by examiner (6)
-
成膜方法及び成膜装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-139602
Applicant:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社, 日本電子工業株式会社
-
燃料電池用セパレータおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-288502
Applicant:株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社
-
配向性非晶質炭素膜およびその形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-288530
Applicant:株式会社豊田中央研究所
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