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J-GLOBAL ID：201303019194401524

圧電薄膜共振子及び圧電薄膜の製造方法

Inventor：
梅田 圭一

About 梅田 圭一

, 
三宅 高志

About 三宅 高志


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012174032
Publication number (International publication number)：2013128267
Application date： Aug. 06, 2012
Publication date： Jun. 27, 2013
Summary：
【課題】比帯域や周波数温度特性の設計範囲を拡げることができ、設計の自由度を大幅に高め得る圧電薄膜共振子を得る。【解決手段】厚み方向において、Sc濃度が均一ではない濃度分布を有するSc含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜6と、圧電薄膜6を挟んで対向するように第1及び第2電極5,7が設けられており、圧電薄膜6と第1及び第2の電極5,7とからなる圧電振動部を支持している基板2がさらに備えられている、圧電薄膜共振子1。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
厚み方向においてSc濃度が均一ではない濃度分布を有するSc含有窒化アルミニウムからなる圧電薄膜と、 前記圧電薄膜を挟んで対向するように設けられた第1及び第2の電極と、 前記圧電薄膜と、前記第1及び第2の電極とからなる圧電振動部を支持している基板とを備えている、圧電薄膜共振子。
IPC (6)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/39 ,  H01L 41/09 ,  C23C 14/06
FI (7)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 C ,  C23C14/06 A
F-Term (21)：
4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029CA06 ,  4K029DC12 ,  4K029DC15 ,  4K029DC16 ,  5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE05 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108HH03 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (9)
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