Pat

J-GLOBAL ID：201303025158130379

膜厚測定方法

Inventor： 金子 祐司 ,  長谷川 昌明 ,  久保 淳一郎 ,  六郷 恵哲 ,  浅野 幸男
Applicant, Patent owner： 東海旅客鉄道株式会社
Agent (1)： 名古屋国際特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008191259
Publication number (International publication number)：2010025904
Patent number：5203832
Application date： Jul. 24, 2008
Publication date： Feb. 04, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基材上に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、 前記基材の表面のうち、第1の色の領域に形成された前記薄膜における輝度と、前記基材の表面のうち、前記第1の色とは異なる第2の色の領域に形成された前記薄膜の輝度との輝度差を算出し、 前記算出した輝度差に基づいて前記薄膜の膜厚を算出する膜厚測定方法。

IPC (1)：

G01B 11/06 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 11/06 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 塗膜の隠蔽膜厚を推定する方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-034577   Applicant：日本ペイント株式会社
• 液晶パネルの位置決め装置及びパターン検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-329617   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 塗装品質解析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-098483   Applicant：日産自動車株式会社
• 下地処理のオンライン管理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-116985   Applicant：住友金属工業株式会社
• 多層膜の膜厚測定方法及び測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-108500   Applicant：ソニー株式会社
• 膜厚測定方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-356284   Applicant：オムロン株式会社
• 膜厚測定装置および方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-237727   Applicant：トッパン・フォームズ株式会社
• 金属表面の酸化膜厚さ測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-165278   Applicant：株式会社グローバル・ニュークリア・フュエル・ジャパン