膜厚測定方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：名古屋国際特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008191259
Publication number (International publication number)：2010025904
Patent number：5203832
Application date： Jul. 24, 2008
Publication date： Feb. 04, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】基材上に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、前記基材の表面のうち、第1の色の領域に形成された前記薄膜における輝度と、前記基材の表面のうち、前記第1の色とは異なる第2の色の領域に形成された前記薄膜の輝度との輝度差を算出し、前記算出した輝度差に基づいて前記薄膜の膜厚を算出する膜厚測定方法。

IPC (1)：

G01B 11/06 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 11/06 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (18)

特開昭54-060960
特開昭56-044802
特開昭61-172002

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Cited by examiner (8)

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