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J-GLOBAL ID:201303037232083599
エタロンフィルタ
Inventor:
,
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,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011239329
Publication number (International publication number):2013097150
Application date: Oct. 31, 2011
Publication date: May. 20, 2013
Summary:
【課題】 波長温度特性を向上させ、また消光比の変化量が従来よりも少なくする。【解決手段】 ガラス又は水晶からなる第一の透明部材及び第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材とを備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ反射膜に第一接合膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面及びこの面と平行となる反対側の面に反射膜を備えつつ中空部材を向く側の反射膜に第二接合膜を備え、中空部材が第一の透明部材と対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、第一接合膜と第三接合膜とが接合され、第二接合膜と第三接合膜とが接合され、前記中空部材の中空の内部が気密状態となり、第一の透明部材及び第二の透明部材の厚みをt、中空部材の開口幅をaとしたとき、t/a≧0.3で構成されることを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
第一の透明部材と、
第二の透明部材と、
前記第一の透明部材と前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、
前記第一の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、
前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、
前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記第一の透明部材と対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、
前記第一の透明部材の第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記中空部材の中空の内部が気密状態となり、
前記第一の透明部材及び前記第二の透明部材の厚みをt、前記中空部材の開口幅をaとしたとき、
t/a≧0.3となるように構成されることを特徴とするエタロンフィルタ。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (8):
2H048GA13
, 2H048GA26
, 2H048GA48
, 2H048GA51
, 2H148GA13
, 2H148GA26
, 2H148GA48
, 2H148GA51
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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原子拡散接合方法及び前記方法により接合された構造体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-214240
Applicant:株式会社ムサシノエンジニアリング, 島津武仁
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常温接合方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-047360
Applicant:島津武仁, 株式会社ムサシノエンジニアリング
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光共振器およびその製造方法ならびに波長管理モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-219681
Applicant:住友大阪セメント株式会社, 株式会社応用光電研究室
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光共振器および波長管理モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-096853
Applicant:住友大阪セメント株式会社, 株式会社応用光電研究室
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基板接合方法および基板接合装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-137882
Applicant:須賀唯知, アユミ工業株式会社
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光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-299483
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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常温接合方法及び常温接合装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-241961
Applicant:三菱重工業株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
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特開平4-028276
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特開平4-028276
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ファブリペロー型素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-255895
Applicant:横河電機株式会社
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