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J-GLOBAL ID：200903021017208740

光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

Inventor：
中村 亮介

About 中村 亮介


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (2)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006299483
Publication number (International publication number)：2008116669
Application date： Nov. 02, 2006
Publication date： May. 22, 2008
Summary：
【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。【解決手段】本発明の光学デバイス1は、可動部21の第2の構造体3側の面上に設けられた第1の駆動電極28と、第2の構造体3上に第1の駆動電極28に対向するように設けられた第2の駆動電極33とを有し、第1の構造体2および第2の構造体3は、金属を主材料として構成された金属層4を介して接合され、かつ、金属層4を導体として第1の駆動電極28と第2の駆動電極33との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるように構成されている。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
板状をなしその厚さ方向に変位可能に設けられた可動部を備えた第1の構造体と、 前記第1の構造体との間に前記可動部の前記変位を許容する空隙を形成しつつ前記第1の構造体に接合された第2の構造体と、 前記可動部の前記第2の構造体側の面上に設けられた第1の反射膜と、 前記第2の構造体上に前記第1の反射膜に対向するように設けられた第2の反射膜とを有し、 前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間で光反射を繰り返し干渉を生じさせて、前記第1の反射膜と前記第2の反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部へ出射し得るように構成された光学デバイスであって、 前記可動部の前記第2の構造体側の面上に設けられた第1の駆動電極と、 前記第2の構造体上に前記第1の駆動電極に対向するように設けられた第2の駆動電極とを有し、 前記第1の構造体および前記第2の構造体は、金属を主材料として構成された金属層を介して接合され、かつ、前記金属層を導体として前記第1の駆動電極と前記第2の駆動電極との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記可動部を変位させるように構成されていることを特徴とする光学デバイス。
IPC (4)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  G02B 5/20 ,  B81B 3/00
FI (4)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G02B5/20 ,  B81B3/00
F-Term (10)：
2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AB15 ,  2H041AB16 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA48 ,  2H048GA62
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (13)
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Cited by examiner (13)
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