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J-GLOBAL ID：201303081986803147

摺動部材、その製造方法、及び摺動構造

Inventor： 不破 良雄 ,  神野 哲史 ,  梅原 徳次 ,  野老山 貴行 ,  榊原 和希
Applicant, Patent owner： トヨタ自動車株式会社 ,  国立大学法人名古屋大学
Agent (3)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  美馬 保彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011195055
Publication number (International publication number)：2013057093
Application date： Sep. 07, 2011
Publication date： Mar. 28, 2013
Summary：

【課題】大気中において、これまでに比べてより低い摩擦係数を確保することができる摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】基材の表面に、窒素を含有した非晶質炭素被膜を成膜する摺動部材の製造方法である。この方法では、基材表面に向けて窒素イオンビームを照射すると共に、非晶質炭素被膜の表面に、複数の突起部が形成されるように、カーボンターゲットに電子ビームを照射することにより、カーボンターゲットの一部を基材の表面に蒸着させながら非晶質被膜を成膜する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材の表面に、窒素を含有した非晶質炭素被膜を成膜する摺動部材の製造方法であって、 前記基材の表面に向けて窒素イオンビームを照射すると共に、前記非晶質炭素被膜の表面に、複数の突起部が形成されるように、カーボンターゲットに電子ビームを照射することにより、前記カーボンターゲットの一部を前記基材の表面に蒸着させながら前記非晶質被膜を成膜することを特徴とする摺動部材の製造方法。

IPC (1)：

C23C 14/06

FI (1)：

C23C14/06 F

F-Term (6)：

4K029BA34 ,  4K029BB10 ,  4K029BD04 ,  4K029CA09 ,  4K029DB21 ,  4K029FA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 複合硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-173168   Applicant：トヨタ自動車株式会社, 国立大学法人名古屋大学
• 窒化炭素膜の製造方法及び製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-014016   Applicant：三菱重工業株式会社
• 炭素-窒素化合物含有膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-026380   Applicant：日新電機株式会社
• 耐摩耗性部材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-178080   Applicant：三菱重工業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• CNx膜の硬さに及ぼす成膜時基板温度・窒素イオンビーム加速電圧・成膜速度の影響