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J-GLOBAL ID：201402235897012102   Reference number：14A0927529

Evaluation of Microwave Capacitors and Tunable Waveguides on (Ba,Sr)TiO₃ Films Deposited on Sapphire Substrates

サファイア基板上に製膜した(Ba,Sr)TiO₃薄膜におけるマイクロ波コンデンサ及び可変導波路としての評価

Author (2)： NISHIDA Takashi (Fukuoka Univ., Fukuoka, JPN) ,  ONODERA Ryo (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN)
Material： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Trans Mater Res Soc Jpn)
Volume： 39  Issue： 2  Page： 203-206  Publication year： Jun. 2014 
JST Material Number： L4468A  ISSN： 1382-3469  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *titanate ,  *Strontium ,  *barium compound ,  *evaporated film ,  *sapphire ,  substrate (plate) ,  *condenser (capacitor) ,  microwave ,  *waveguide ,  sputtered deposition ,  magnetron sputtering ,  coplanar waveguide ,  electrode ,  comb shape ,  electrostatic capacity ,  grain size dependence ,  voltage dependence ,  electron beam lithography ,  resonator ,  resonance frequency ,  filter (signal) ,  pattern formation ,  *sapphire substrate ,  epitaxial film ,  *ore ,  *precious stone
Semi thesaurus term： RF magnetron sputtering ,  epitaxial film ,  *チタン酸ストロンチウムバリウム ,  comb-type electrode

JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  LCR parts  (NA05030D)

Reference (14)：

• A. K. Tagantsev, V. O. Sherman, K. F. Astafiev, J. Venkatesh and N. Setter, J. Electroceramics, 11, 5-66 (2003)
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• S. Hyun, J. H. Lee, S. S. Kim, K. Char, S. J. Park, J. Sok and E. H. Lee, Appl. Phys. Lett, 77, 3084 (2000)
• L. Tang, J. Wang, J. Zhai, L. B. Kong and X. Yao, Appl. Phys. Lett., 102, 142907-1-4 (2013)
• E. Mikheev, A. P. Kajdos, A. J. Hauser and S. Stemmer, Appl. Phys. Lett., 101, 252906-1-4 (2013)

Terms in the title (10)： サファイア基板 ,  製膜 ,  Ba ,  Sr ,  薄膜 ,  マイクロ波 ,  コンデンサ ,  可変 ,  導波路 ,  評価