気体の分子量測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011147222
Publication number (International publication number)：2013015362
Patent number：5769167
Application date： Jul. 01, 2011
Publication date： Jan. 24, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】被測定気体でみたされる測定室と、測定室内に設置された振動子と、振動子を励振するとともに振動子の周波数変化量、振動子の共鳴周波数と等しい交流電圧を振動子に印加したとき流れる電流と印加電圧との比の変化量を測定する励振測定部と、振動子が置かれている気体の圧力を測定する圧力測定子と、振動子の温度を測定する温度測定子とを備えた気体の分子量を測定する装置において、前記励振測定部で測定した振動子の周波数変化量、振動子の共鳴周波数と等しい交流電圧を振動子に印加したとき流れる電流と印加電圧との比の変化量と、前記圧力測定子で測定した圧力と、前記温度測定子で測定した温度とから気体の分子量を演算する演算部を備えていることを特徴とする気体の分子量測定装置。

IPC (2)：

G01N 7/00 ( 200 6.01) , G01N 5/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 7/00 C , G01N 5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

2種類混合気体の濃度測定方法及び濃度測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-153979 Applicant：経済産業省産業技術総合研究所長
2成分混合気体の濃度測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-049769 Applicant：バキュームプロダクツ株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-205384 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

気体中の水晶振動子のインピーダンスと周波数の圧力依存性の比較

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