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J-GLOBAL ID：201503035652490477
圧電アクチュエータ機構
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (2)：
大家 邦久
, 林 篤史
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010031954
Publication number (International publication number)：2011172331
Patent number：5643957
Application date： Feb. 17, 2010
Publication date： Sep. 01, 2011
Claim (excerpt)：
【請求項1】軸受を介して回転自在に軸支された送りネジナットと送りネジによるネジ送り機構と、前記送りネジの後端面に取り付けられた円盤型ロータと、前記ロータの周面に先端が接当する圧電振動子を有する超音波モータと、ばね力で前記送りネジの先端に押圧され、かつ送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウントとを有することを特徴とする圧電アクチュエータ機構。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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特開昭62-004654
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Z移動ステージ機構
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-241592
Applicant：東芝機械株式会社
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光学アラインメントねじのための圧電アクチュエータ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-063309
Applicant：ニューフォーカス,インコーポレイテッド
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Cited by examiner (6)
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特開昭62-004654
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Z移動ステージ機構
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-241592
Applicant：東芝機械株式会社
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光学アラインメントねじのための圧電アクチュエータ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-063309
Applicant：ニューフォーカス,インコーポレイテッド
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