開口部の分布が非均一な研磨物品

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (5)：渡邉一平 , 佐藤博幸 , 小池成 , 大賀眞司 , 百本宏之
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2014550540
Publication number (International publication number)：2015503464
Application date： Dec. 31, 2012
Publication date： Feb. 02, 2015
Summary：

非均一分布パターンに配置された複数のアパーチャを有する被覆研磨材であって:パターンは、螺旋または葉序であり、特にフォーゲル式によって説明されるパターンである、研磨物品。また、提供されるのは、螺旋または葉序パターンのエアフロー経路(オープンなチャンネルの形態等)を有するバックアップパッドである。バックアップパッドは、具体的には、非均一分布パターンを有する研磨物品と対応するように構成されてよい。あるいは、バックアップパッドは、穴が突き通った従来の被覆研磨材と共に、用いられ得る。アパーチャおよびバックアップパッドの非均一分布パターンを有する研磨物品は、研磨系として一緒に用いられてよい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

アパーチャパターンに配置された複数のアパーチャを有する被覆研磨材を含み、アパーチャパターンは、分布が非均一に調節されている、研磨物品。

IPC (2)：

B24D 11/00 , B24D 3/00

FI (2)：

B24D11/00 M , B24D3/00 310D

F-Term (9)：

3C063AA02 , 3C063AA03 , 3C063AB02 , 3C063AB07 , 3C063BA22 , 3C063BG04 , 3C063BG08 , 3C063FF08 , 3C063FF23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

スーパーサイズコーティングを有する研磨材物品及び製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2009-552778 Applicant：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
吸塵用研磨具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-112204 Applicant：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
研磨パッド及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-138613 Applicant：日本ミクロコーティング株式会社, 株式会社ルネサステクノロジ

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