X線回折測定システム

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014248615
Publication number (International publication number)：2016109600
Application date： Dec. 09, 2014
Publication date： Jun. 20, 2016
Summary：

【課題】測定対象物の検査範囲が広範囲であっても、短時間で精度よくX線照射点ごとの回折X線の強度分布に基づく特性値を測定することができるX線回折測定システムを提供する。【解決手段】X線回折測定装置2の筐体30を列車1の底部に取り付け、測定対象物であるレールRaに垂直に断面直径10mm程度のX線が照射されるようにする。列車1の運行によりレールRa上のX線照射点を移動させながら、それぞれのX線照射点における回折X線の強度を、シンチレーションカウンター21で検出する。シンチレーションカウンター21は、X線の光軸上の点である回折環の中心からの距離をそれぞれ異ならせて円形に配置されており、コントローラ71は、検出された複数の回折X線の強度を、半径方向の回折X線の強度分布と見なして特性値を計算する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対象とする測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、前記X線出射器から出射されるX線を断面直径5mm以上の略平行光にする径調整手段と、前記X線出射器から径調整手段を介して出射されるX線が測定対象物に照射されたとき、前記測定対象物にて発生する回折X線の強度を検出する複数のX線検出センサであって、前記X線出射器から出射されるX線の光軸上の点を中心にした所定の円の2つ以上の円周位置付近に、前記中心からの距離をそれぞれ異ならせて配置されているX線検出センサと、前記X線出射器と前記径調整手段と前記X線検出センサとを含む筐体と、前記筐体の前記測定対象物に対する位置と姿勢が、前記X線出射器から出射されるX線が前記測定対象物の表面に垂直に照射され、前記測定対象物の表面におけるX線の照射点と前記X線検出センサとの間の距離が設定された距離になるよう維持されたまま、前記筐体を前記測定対象物に対して移動させる移動手段と、前記複数のX線検出センサにおける前記中心からの距離がそれぞれ記憶され、前記X線検出センサの検出した回折X線の強度を前記中心からの距離に対応させて記憶し、前記中心からの距離に対する回折X線の強度の変化に基づいて特性値を計算する評価手段とを備えたことを特徴とするX線回折測定システム。

IPC (1)：

G01N 23/20

FI (1)：

G01N23/20

F-Term (15)：

2G001AA01 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA06 , 2G001FA03 , 2G001FA06 , 2G001GA05 , 2G001HA10 , 2G001JA11 , 2G001KA03 , 2G001LA02 , 2G001MA06 , 2G001PA03 , 2G001SA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

X線回折装置及びX線回折システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-048761 Applicant：財団法人鉄道総合技術研究所, 佐々木敏彦, 平塚剛一
荷電粒子線装置の検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-216004 Applicant：株式会社トプコン
多分割STEM検出器の調整方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-116906 Applicant：国立大学法人東京大学, 日本電子株式会社

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