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J-GLOBAL ID：201802260046091642   Reference number：18A1011319

Ultra-high-speed Surface Manufacturing Employing MVP Method and its Application to Internal Plasma Coating of Narrow Holes

プラズマ技術 表面処理 MVP法による超高速成膜・表面加工技術と細穴内面プラズマ成膜への展開

Author (2)： KOSAKA HIROYUKI (岐阜大 工) ,  KOSAKA HIROYUKI (岐阜大 地域連携スマート金型技術研究セ)
Material： 自動車技術  (Journal of Society of Automotive Engineers of Japan)
Volume： 72  Issue： 6  Page： 68-73  Publication year： Jun. 01, 2018 
JST Material Number： F0387A  ISSN： 0385-7298  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： constitution ,  *surface processing ,  *plasma ,  research and development ,  *surface treatment ,  plasma sheath ,  *diamond-like carbon ,  pore ,  internal surface ,  electromagnetic wave propagation ,  *microwave ,  *plasma CVD ,  plasma simulation ,  case study
Semi thesaurus term： film formation ,  *high density plasma ,  processing velocity ,  metal substrate

JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Reference (24)：

• 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会, プラズマイオンプロセスとその応用, オーム社 (2005)
• H. Kousaka, N. Umehara, K. Ono, J. Q. Xu: Microwave-excited high-density plasma column sustained along metal rod at negative voltage, Japanese Journal of Applied Physics Part 2, 44(33-36), p.L1154-L1157 (2005)
• H. Kousaka, N. Umehara: Study on the axial uniformity of surface wave-excited plasma column sustained along a metal rod, Trans. Mat. Res. Soc. Japan, 31 (2), p. 487-490 (2006)
• H. Kousaka, J. Q. Xu, N. Umehara Pressure dependence of surface wave-excited plasma column sustained along metal rod antenna, Vacuum, 80 (11-12), p. 1154-1160 (2006)
• N. Win Khun, A. Neville, I. Kolev, H. Zhao Effects of Substrate Bias on Tribological Properties of Diamondlike Carbon Thin Films Deposited Via Microwave-Excited Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, Journal of Tribology, 138 (3), p. 031301-1-031301-6 (2016)

Terms in the title (8)： プラズマ ,  表面処理 ,  MVP ,  高速成膜 ,  表面加工 ,  細穴 ,  成膜 ,  展開