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J-GLOBAL ID：201802291057870587   Reference number：18A0633888

スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価

Author (5)： KOBAYASHI SHINTA (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  TAKEDA SAKURA (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  YONEDA MASATOSHI (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  DAIMON HIROSHI (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  WAKABAYASHI HITOSHI (Tokyo Inst. of Technol.)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 65th  Page： ROMBUNNO.20a-C103-8  Publication year： Mar. 05, 2018 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thin film growth ,  sputtering ,  *molybdenum sulfide ,  oxidation ,  *X-Ray Diffraction ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  Raman spectroscopy ,  *molybdenum(IV) sulfide
Semi thesaurus term： *molybdenum disulfide

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： スパッタ成膜 ,  MoS2 ,  酸化 ,  Mo ,  評価