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J-GLOBAL ID：201803005527933428

圧力センサ

Inventor： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  高橋 英俊 ,  グェン ミン ジューン ,  内山 武 ,  大海 学 ,  篠原 陽子
Applicant, Patent owner： セイコーインスツル株式会社 ,  国立大学法人 東京大学
Agent (3)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾 ,  西澤 和純
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014050552
Publication number (International publication number)：2015175643
Patent number：6292932
Application date： Mar. 13, 2014
Publication date： Oct. 05, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】 圧力変動を検出する圧力センサであって、 内部にキャビティが形成され、前記キャビティと外部とを連通する連通開口を有する中空のセンサ本体と、 先端部が自由端かつ基端部が前記センサ本体に支持された片持ち状態で前記連通開口を塞ぐように配置され、前記キャビティと前記センサ本体の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、 を備え、 前記基端部は、平面視で前記基端部から前記先端部に向かう第1方向に直交する第2方向において、前記連通開口の一部を成すように前記基端部に設けられたギャップによって複数の分岐部に区分され、 前記複数の分岐部のうちで一部の分岐部は、前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を検出する変位検出部を備え、 前記変位検出部は、当該変位検出部よりも大きい抵抗値を有する区分部によって前記第2方向で電気的に区分される複数の分岐検出部を備え、 前記複数の分岐検出部は、それぞれピエゾ抵抗によって構成され、 前記複数の分岐検出部は、相互に前記区分部の外周を回り込むようにして電気的に接続される、 ことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01L 9/00 303 D ,  H01L 29/84 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 圧力センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-105306   Applicant：セイコーインスツル株式会社, 国立大学法人東京大学
• 半導体加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-304751   Applicant：松下電工株式会社
• 半導体加速度センサの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-357825   Applicant：松下電工株式会社
• ピエゾ抵抗変化検出方式センサ、モジュール、振動検出機能付き機器、ボイラの物理量検出装置、気体用物理量検出装置及び異常状態検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-136632   Applicant：オムロン株式会社
• 力学量センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-325188   Applicant：松下電器産業株式会社
• 半導体加速度センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-357824   Applicant：松下電工株式会社