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J-GLOBAL ID：200903075334572515

力学量センサおよびその製造方法

Inventor：
中西 努

About 中西 努

, 
小山 泰一

About 小山 泰一


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006325188
Publication number (International publication number)：2008139136
Application date： Dec. 01, 2006
Publication date： Jun. 19, 2008
Summary：
【課題】本発明は、トリミング用の抵抗を追加することなく電気的出力の調整を行うことができる力学量センサの製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の力学量センサの製造方法は、固定部1と、この固定部1に接続された弾性変形可能な第1の片持ち梁部2と、この第1の片持ち梁部2の先端に形成された作用部である第1のおもり部4と、前記第1の片持ち梁部2の上面に形成された第1のピエゾ抵抗素子6〜第2のピエゾ抵抗素子7と、この第1のピエゾ抵抗素子6〜第2のピエゾ抵抗素子7と電気的に接続された一対の接続電極16とを形成した後、前記第1のピエゾ抵抗素子6〜第2のピエゾ抵抗素子7をトリミングして長方形の第1のピエゾ抵抗素子6〜第2のピエゾ抵抗素子7を形成する工程を備えたものである。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
固定部と、この固定部に接続された弾性変形可能な梁部と、この梁部の先端に形成された作用部と、前記梁部の上面に形成されたピエゾ抵抗素子と、このピエゾ抵抗素子と電気的に接続された一対の接続電極とを形成した後に、前記ピエゾ抵抗素子をトリミングして長方形のピエゾ抵抗素子を形成する工程を備えた力学量センサの製造方法。
IPC (4)：
G01P 15/12 ,  G01P 21/00 ,  G01L 1/18 ,  H01L 29/84
FI (4)：
G01P15/12 D ,  G01P21/00 ,  G01L1/18 A ,  H01L29/84 A
F-Term (12)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA09 ,  4M112DA17 ,  4M112EA03 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (10)
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