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J-GLOBAL ID：201803018600695586

圧電薄膜共振器、フィルタ、デュプレクサ、及び圧電薄膜共振器の製造方法

Inventor：
横山 剛

About 横山 剛

, 
西原 時弘

About 西原 時弘


Applicant, Patent owner：
太陽誘電株式会社

About 太陽誘電株式会社


Agent (1)： 片山 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016143660
Publication number (International publication number)：2018014643
Application date： Jul. 21, 2016
Publication date： Jan. 25, 2018
Summary：
【課題】電気機械結合係数の向上とQ値の低下の抑制とを両立させること。【解決手段】基板10と、基板10上に設けられ、第2族元素又は第12族元素と、第4族元素又は第5族元素と、を含有し、厚さ方向の中央側の第1領域14aでは前記第4族元素又は前記第5族元素の濃度が前記第2族元素又は前記第12族元素の濃度よりも高く、前記厚さ方向の端側の第2領域14bでは前記第2族元素又は前記第12族元素の濃度が前記第4族元素又は前記第5族元素の濃度よりも高い窒化アルミニウム膜を含む圧電膜14と、圧電膜14を挟んで対向した下部電極12及び上部電極16と、を備える圧電薄膜共振器。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
基板と、 前記基板上に設けられ、第2族元素又は第12族元素と、第4族元素又は第5族元素と、を含有し、厚さ方向の中央側では前記第4族元素又は前記第5族元素の濃度が前記第2族元素又は前記第12族元素の濃度よりも高く、前記厚さ方向の端側では前記第2族元素又は前記第12族元素の濃度が前記第4族元素又は前記第5族元素の濃度よりも高い窒化アルミニウム膜を含む圧電膜と、 前記圧電膜を挟んで対向した下部電極及び上部電極と、を備える圧電薄膜共振器。
IPC (2)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02
FI (2)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B
F-Term (9)：
5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC10 ,  5J108FF02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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