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J-GLOBAL ID：201902276333907753   Reference number：19A2083360

Sol-Gel Deposition and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Film Using Different Commercial Sols

異なる市販ゾルを用いたジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜のゾル-ゲル蒸着とキャラクタリゼーション

Author (3)： MORIYAMA Masaaki (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  TOTSU Kentaro (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  TANAKA Shuji (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 31  Issue： 8 (2)  Page： 2497-2509  Publication year： 2019 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *sol ,  *lead zirconate titanate ,  *vapor deposition ,  *sol-gel process ,  *characterization ,  film thickness ,  crystal orientation ,  ferroelectricity ,  RTA ,  temperature ,  constant ,  optimization
Semi thesaurus term： piezoelectric constant ,  drying temperature ,  *thin film deposition

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (13)：

• J. Baborowski: J. Electroceram. 12 (2004) 33.
• S. Koganezawa, Y. Uematsu, T. Yamada, H. Nakano, J. Inoue, and T. Suzuki: IEEE Trans. Magn. 35 (1999) 988.
• J. Lappalainen, J. Frantti, H. Moilanen, and S. Leppävuori: Sens. Actuators, A 46 (1995) 104.
• Y. Yin, H. Ye, W. Zhan, L. Hong, H. Ma, and J. Xu: Sens. Actuators, A 171 (2011) 332.
• Q. Q. Zhang, S. J. Gross, S. Tadigadapa, T. N. Jackson, F. T. Djuth, and S. Trolier-McKinstry: Sens. Actuators, A 105 (2003) 91.

Terms in the title (6)： ゾル ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  ゾル-ゲル ,  蒸着 ,  キャラクタリゼーション