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J-GLOBAL ID：201903000899612780

X線顕微鏡

Inventor： 松山 智至 ,  山田 純平
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学
Agent (4)： 植木 久一 ,  植木 久彦 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017540926
Patent number：6478433
Application date： Sep. 23, 2016
Claim (excerpt)：

【請求項1】 X線源と、試料保持部と、反射凹面を有するKirkpatrick-Baezミラー(以下、「凹面KBミラー」と記載する)と、反射凸面を有するKirkpatrick-Baezミラー(以下、「凸面KBミラー」と記載する)と、前記試料保持部の位置と結像関係の位置にある受光部とを、順に有するX線顕微鏡。

IPC (3)：

G21K 7/00 ( 200 6.01) ,  G21K 1/06 ( 200 6.01) ,  G21K 1/00 ( 200 6.01)

FI (4)：

G21K 7/00 ,  G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 G ,  G21K 1/00 X

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 集光径可変なX線集光システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-150245   Applicant：国立大学法人大阪大学
• X線光学システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-094281   Applicant：国立大学法人大阪大学
• X線集光系
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-310975   Applicant：日本電信電話株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• Advanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系を用いた高分解能かつ色収差のない硬X線顕微鏡の開発
• 極端紫外光と結像光学系
• 平成22年度戦略的基板技術高度化支援事業 「放射光用ミラーに関する加工技術の高精度化」