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J-GLOBAL ID：201903005551072767
窒素化合物の製造方法及び製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017548816
Patent number：6590420
Application date： Nov. 02, 2016
Claim (excerpt)：
【請求項1】容器の内部における前記容器の一部に接触するように設けられ、ノズルを有するマイクロ波プラズマ生成装置を用いてマイクロ波プラズマを生成して窒素化合物を製造する窒素化合物の製造方法であって、
前記ノズルから窒素系ガスを含む原料ガスを基材の表面に流量を制御して吹き出しながら、前記原料ガスにマイクロ波を印加することにより、前記原料ガスから生成される窒素系活性種を含むプラズマを前記基材の表面に向かって照射する工程において、圧力を前記プラズマにおけるイオンの平均自由行程がデバイ長より小さくなる圧力より高く設定することを特徴とする窒素化合物の製造方法。
IPC (5)：
C23C 8/36 ( 200 6.01)
, C23C 16/34 ( 200 6.01)
, C23C 16/511 ( 200 6.01)
, H01L 33/32 ( 201 0.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
C23C 8/36
, C23C 16/34
, C23C 16/511
, H01L 33/32
, H05H 1/46 B
Cited by examiner (5)
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