プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (9)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 三浦邦陽 , 青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 三浦邦陽 , 三浦邦夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017056382
Publication number (International publication number)：2018160352
Patent number：6974677
Application date： Mar. 22, 2017
Publication date： Oct. 11, 2018
Claim (excerpt)：

【請求項1】誘電体を含んで軸方向に延びるとともに、内部に放電空間を構成する筒状管壁を有する放電容器と、前記筒状管壁に軸方向に沿って帯状に形成されるとともに、前記放電空間を介して対向するように配置された一対の帯状電極と、を有し、前記一対の帯状電極の少なくとも一方は、前記放電容器内の放電用ガスに露出しないように、前記筒状管壁に埋設されている、ことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (1)：

H05H 1/26 ( 200 6.01)

FI (1)：

H05H 1/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特許第6006393号
構造体及び電極構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-197112 Applicant：日本碍子株式会社
放電ランプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-179652 Applicant：株式会社オーク製作所

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