Sn粒子の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：藤谷修 , 一色昭則 , 角谷智広
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020115248
Publication number (International publication number)：2022013006
Application date： Jul. 02, 2020
Publication date： Jan. 18, 2022
Summary：

【課題】簡便にSn粒子を製造すること。【解決手段】まず、ガラスからなる基板2上に、SnO 2 からなる酸化膜1を形成する。次に、酸化膜1に水素とアルゴンの混合ガスによるプラズマを照射する。酸化膜1は水素ラジカルによって還元されてSnとなり、基板2上の酸化膜1がなくなるとSnは表面張力によって球形となり、Sn粒子が生成する。Sn粒子の直径は、酸化膜1の厚さよりも大きくなり、酸化膜1の厚さの0.1~10倍とすることができる。たとえば、直径0.5~5μmのSn粒子を製造することができる。Sn粒子が球形であるため、基板2との接触面積が非常に小さい。そのため、基板2から容易にSn粒子を剥離させることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

球形のSnからなるSn粒子を製造するSn粒子の製造方法であって、ガラスからなる基板上にSnO 2

IPC (1)：

B22F 9/22

FI (1)：

B22F9/22 Z

F-Term (10)：

4K017AA03 , 4K017BA01 , 4K017CA01 , 4K017CA07 , 4K017CA08 , 4K017DA01 , 4K017DA07 , 4K017EF02 , 4K017EH18 , 4K017FB06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

金属微粒子の作製方法および金属微粒子の作製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2018-201698 Applicant：パナソニックIPマネジメント株式会社

Cited by examiner (5)

導電性基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-016932 Applicant：大日本印刷株式会社
微粒子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-333848 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 学校法人トヨタ学園
超微粒子構造の作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-303944 Applicant：東京大学長

Show all

Return to Previous Page