超純水中のイオン成分の分析方法及び装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：重野剛 , 重野隆之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2021158070
Publication number (International publication number)：2023048642
Application date： Sep. 28, 2021
Publication date： Apr. 07, 2023
Summary：

【課題】汚染なくブランク低減化を実現し、高感度で且つオンタイムで濃縮、分析することができる超純水中のイオン成分の分析方法及び装置を提供する。【解決手段】試料超純水を濃縮して分析手段で分析する純水中のイオン成分の分析方法において、試料超純水を電気透析装置により濃縮することを特徴とする純水中のイオン成分の分析方法。好ましくは、電気透析装置は第2電気透析装置20であり、第1生成室27に試料超純水を通水し、第2生成室28に高純度硝酸水溶液を通水し、第2生成室28から分析用濃縮水を取り出す。第2生成室28に通水する高純度硝酸水溶液は、第1電気透析装置10で硝酸カリウム水溶液を透析処理して生成させたものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料超純水を濃縮して分析手段で分析する超純水中のイオン成分の分析方法において、試料超純水を電気透析装置により濃縮することを特徴とする純水中のイオン成分の分析方法。

IPC (4)：

G01N 33/18 , C02F 1/469 , B01D 61/44 , B01D 61/46

FI (5)：

G01N33/18 C , C02F1/469 , B01D61/44 500 , B01D61/46 500 , B01D61/44 510

F-Term (18)：

4D006GA17 , 4D006KA26 , 4D006MA14 , 4D006MA15 , 4D006PA02 , 4D006PB12 , 4D006PB28 , 4D006PC38 , 4D061DA01 , 4D061DB18 , 4D061DC14 , 4D061EA09 , 4D061EB13 , 4D061EB16 , 4D061EB37 , 4D061GC02 , 4D061GC11 , 4D061GC14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

超純水中の不揮発性不純物の分析および定量方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-016908 Applicant：野村マイクロ・サイエンス株式会社, 日本科学工業株式会社
不純物濃度分析方法およびシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-338188 Applicant：オルガノ株式会社
超純水製造装置とその水質管理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2019-212250 Applicant：オルガノ株式会社

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Cited by examiner (4)

水中イオンモニター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-050983 Applicant：栗田工業株式会社
超純水製造装置とその水質管理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2019-212250 Applicant：オルガノ株式会社
純水循環供給システム、純水再利用方法、および基板処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-145273 Applicant：株式会社荏原製作所

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