カーボンナノチューブ形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石井裕一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278869
公開番号（公開出願番号）：特開2010-105845
特許番号：特許第5246765号
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板の表面の一部を覆うように導電性部材を配置する導電性部材配置工程、前記配置された導電性部材上に触媒を配置する触媒配置工程、前記触媒が配置された基板を炭素源ガス雰囲気に置く基板設置工程、前記炭素源ガス雰囲気に置かれた基板に配置された導電性部材をパルス状に通電することにより前記導電性部材を発熱させて、前記触媒からカーボンナノチューブを成長させる加熱工程を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。

IPC (2件)：