特許
J-GLOBAL ID：201303054831381427
微細粒子成分分析装置
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
,
代理人 (4件)：
光石 俊郎
, 光石 忠敬
, 田中 康幸
, 松元 洋
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-295713
公開番号（公開出願番号）：特開2008-111756
特許番号：特許第5030531号
出願日： 2006年10月31日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガス中の微細粒子の成分を分析する微細粒子成分分析装置であって、
前記ガスをサンプリングするガスサンプリング手段と、
前記ガスサンプリング手段でサンプリングされた前記ガス中から目的とする粒径の前記微細粒子を分級して送出する分級手段と、
前記分級手段からの前記微細粒子の成分を分析する分析手段と、
検量成分を規定量有する微細粒子の検量体を単位容積当り目的とする粒子数で生成させて前記分級手段へ送給する検量体生成手段と
を備え、
前記検量体生成手段が、
金属の微細粒子のコアを単位容積当り目的とする粒子数で生成させるコア生成手段と、
前記検量成分の蒸気を単位容積当り目的とする濃度で生成させる検量成分気化手段と、
前記コア生成手段で生成した前記コアに前記検量成分の前記蒸気を目的とする被着量で被着させる被着手段と
を備え、
前記検量体生成手段の前記検量成分気化手段が、
複数の前記検量成分を各々加熱して当該検量成分を各々気化させて、不活性ガスにより当該検量成分の前記蒸気を各々搬送するものであり、
各前記検量成分の加熱温度及び各前記不活性ガスの流速により各当該検量成分の各前記蒸気の単位容積当りの濃度を各々設定するものである
ことを特徴とする微細粒子成分分析装置。
IPC (6件)：
G01N 1/00 ( 200 6.01)
, G01N 15/06 ( 200 6.01)
, G01N 27/62 ( 200 6.01)
, G01N 27/64 ( 200 6.01)
, G01N 1/22 ( 200 6.01)
, G01N 15/02 ( 200 6.01)
G01N 1/00 C
, G01N 15/06 D
, G01N 27/62 K
, G01N 27/64 B
, G01N 1/22 G
, G01N 1/22 D
, G01N 1/00 102 A
, G01N 15/02 F
