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著者 (8件)：
資料名：
巻： 27th ページ： 74 発行年： 2014年01月11日
JST資料番号： L1310A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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小山貴久
(JASRI/SPring-8)
, JASRI/SPring-8 について
道先裕志
(JASRI/SPring-8)
, JASRI/SPring-8 について
湯本博勝
(JASRI/SPring-8)
, JASRI/SPring-8 について
金章雨
(大阪大)
, 松山智至
(大阪大)
, 山内和人
(大阪大)
, 矢橋牧名
(理研)
, 大橋治彦
(JASRI/SPring-8)
JASRI/SPring-8 について
資料名：
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集
(日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 について
巻： 27th ページ： 74 発行年： 2014年01月11日
JST資料番号： L1310A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マグネトロンスパッタリング
, マグネトロンスパッタリング について
膜厚
, 膜厚 について
光学
, 光学 について
皮膜
, 皮膜 について
スループット
, スループット について
ビーム
, ビーム について
*反射鏡
, 反射鏡 について
多層膜
, 多層膜 について
直流マグネトロンスパッタリング
, 直流マグネトロンスパッタリング について
X線ナノビーム
, X線ナノビーム について
X線光学
, X線光学 について
多層膜鏡
多層膜鏡 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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コーティング膜
, コーティング膜 について
*スーパーミラー
, スーパーミラー について
高スループット
, 高スループット について
多層膜ミラー
多層膜ミラー について
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
X線技術
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BA02060D)
, 薄膜成長技術・装置
X線技術 について
(BK14020I)
薄膜成長技術・装置 について
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タイトルに関連する用語
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X線
, X線 について
光学素子
, 光学素子 について
コーティング膜
, コーティング膜 について
開発
開発 について
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