特許
J-GLOBAL ID：201403029724542003
X線画像検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 伊坪 公一
, 水谷 好男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-066584
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217098
特許番号：特許第5522347号
出願日： 2009年03月18日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】クロム、ニッケル、チタン、鉄のいずれか1つで形成されたX線ターゲットを有する反射型特性X線発生器と、
直接入射型冷却X線CCD検出器と、
前記反射型特性X線発生器と前記直接入射型冷却X線CCD検出器との間に配置された試料支持部材と、備え、
前記反射型特性X線発生器から発生したX線により試料を照射し、前記試料を透過したX線を前記直接入射型冷却X線CCD検出器により撮像することを特徴とするX線画像検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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