| 複写 |  |
|---|---|
| 関連リンク |  |
| 出版者サイト |  |
著者 (4件)：
資料名：
巻： 77th ページ： ROMBUNNO.15p-P6-4 発行年： 2016年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
前のページに戻る
竹中弘祐
(阪大 接合研)
, 佐竹義旦
(阪大 接合研)
, 内田儀一郎
(阪大 接合研)
, 節原裕一
(阪大 接合研)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
巻： 77th ページ： ROMBUNNO.15p-P6-4 発行年： 2016年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*反応性スパッタリング
, 反応性スパッタリング について
*プラズマ処理
, プラズマ処理 について
*窒化物
, 窒化物 について
*薄膜
, 薄膜 について
窒化アルミニウム
, 窒化アルミニウム について
比率
, 比率 について
*低温プロセス
低温プロセス について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*窒化物薄膜
, 窒化物薄膜 について
デューティ比
デューティ比 について
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ応用
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BJ02110K)
プラズマ応用 について
タイトルに関連する用語 (8件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
プラズマ
, プラズマ について
重畳
, 重畳 について
反応性
, 反応性 について
パルス
, パルス について
スパッタリング
, スパッタリング について
窒化物
, 窒化物 について
薄膜
, 薄膜 について
低温形成
低温形成 について
前のページに戻る
