高速フォトディテクターアレー

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：廣瀬隆行 , 関大祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-053741
公開番号（公開出願番号）：特開2018-157117
出願日： 2017年03月17日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：

【課題】超並列化光通信受信が可能になり,マルチモード伝送,マルチコア伝送において大量のデータ量を瞬時に一括して受信することができる光検出器を提供する。【解決手段】光検出器は、複数のフォトディテクター9が2次元アレイ状に配置され,複数のフォトディテクターの間に幅が4μm以下の配線を有する2次元フォトディテクターアレーを有する。それぞれのフォトディテクターの受光領域は,1辺が100μm以下であり,2次元アレイ状に配置された複数のフォトディテクターは,それぞれ20μm以上離れて配置される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のフォトディテクター(9)が2次元アレイ状に配置され,前記複数のフォトディテクターの間に幅が4μm以下の配線(12)を有する,2次元フォトディテクターアレーを有し, それぞれのフォトディテクターの受光領域は,1辺が100μm以下であり, 前記2次元アレイ状に配置された複数のフォトディテクターは,それぞれ20μm以上離れて配置される, 光検出器。

IPC (4件)：

H01L 27/144 , H04B 10/60 , H01L 31/10 , G02B 6/42

FI (4件)：

H01L27/144 J , H04B10/60 , H01L31/10 A , G02B6/42

Fターム (29件)：

2H137AB05 , 2H137BA18 , 2H137BB12 , 2H137BB17 , 2H137BC01 , 2H137BC51 , 4M118AA10 , 4M118AB05 , 4M118BA09 , 4M118CA03 , 4M118FA06 , 4M118GA02 , 4M118GA08 , 4M118GD03 , 4M118GD14 , 5F849AA02 , 5F849BA30 , 5F849BB01 , 5F849DA02 , 5F849DA05 , 5F849EA04 , 5F849JA11 , 5F849JA12 , 5F849JA14 , 5F849XB05 , 5K102AA02 , 5K102AH14 , 5K102PA11 , 5K102PH38

引用特許：

審査官引用 (8件)

上面入射型受光素子アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-058482 出願人：住友電気工業株式会社
半導体受光素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-406396 出願人：浜松ホトニクス株式会社
フォトダイオードアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-244686 出願人：浜松ホトニクス株式会社

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