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文献
J-GLOBAL ID：202202217363712428
整理番号：22A0132753 原子層プロセスにおける低エネルギーイオン照射誘起表面反応
Surface reactions induced by low-energy ion irradiation in atomic layer processes
クリップ伊藤智子
(大阪大 大学院)
, 唐橋一浩
(大阪大 大学院)
, 浜口智志
(大阪大 大学院)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
巻： 82nd ページ： ROMBUNNO.11a-S301-6 発行年： 2021年08月26日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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分類 (4件)：
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蛋白質・ペプチド一般
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(EB05010B)
, 細胞膜の輸送
脂質一般 について
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(CC02020S)
分析機器 について
タイトルに関連する用語 (5件)：
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原子層
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プロセス
, プロセス について
低エネルギーイオン
, 低エネルギーイオン について
誘起
, 誘起 について
表面反応
表面反応 について
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