特許
J-GLOBAL ID：201003020391471689
カーボンナノチューブ形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
石井 裕一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278869
公開番号（公開出願番号）：特開2010-105845
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】基板の一部を覆う導体上に短い加熱時間でカーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成方法を提供する。【解決手段】ガラス等の基板101に、Mo等のメッシュ状の導電性部材102を配置し、その上に、Al2O3等の触媒担体とFeやCo等の触媒を形成した後、炭素源ガス雰囲気に基板101を置いて、導電性部材102に電圧を印加、あるいは、マイクロ波を照射して短時間だけ加熱すると、触媒担体および触媒を介して導電性部材102から細いカーボンナノチューブ104が成長する。カーボンナノチューブ104は面発光装置11のエミッタとして機能し、導電性部材102はカソード電極としても機能する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板の表面の一部を覆うように導電性部材を配置する導電性部材配置工程、
前記配置された導電性部材上に触媒を配置する触媒配置工程、
前記触媒が配置された基板を炭素源ガス雰囲気に置く基板設置工程、
前記炭素源ガス雰囲気に置かれた基板に配置された導電性部材を短時間加熱し、前記触媒からカーボンナノチューブを成長させる加熱工程
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B31/02 101F
, G02F1/13357
2H191FA83Z
, 2H191FB12
, 2H191FC02
, 2H191FC10
, 2H191FC32
, 2H191FC36
, 2H191FD13
, 2H191LA13
, 4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AB07
, 4G146AD23
, 4G146AD29
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB23
, 4G146BC01
, 4G146BC09
, 4G146BC15
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC33B
, 4G146BC37A
, 4G146BC37B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
, 4G146DA03
, 4G146DA33
, 4G146DA35
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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