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J-GLOBAL ID：201702288776833825   整理番号：17A0118555

多層金属技術によるMEMS慣性センサのプルーフマス構造設計のための減衰定数モデル【Powered by NICT】

A damping constant model for proof-mass structure design of MEMS inertial sensor by multi-layer metal technology

著者 (7件)： Konishi Toshifumi (Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan) ,  Safu Teruaki (Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan) ,  Machida Katsuyuki (Nano-Technology Business Unit, NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi-shi, Kanagawa, Japan) ,  Yamane Daisuke (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan) ,  Sone Masato (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan) ,  Masu Kazuya (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa, Japan) ,  Toshiyoshi Hiroshi (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Meguro-ku, Tokyo Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,多層金属技術によるMEMS慣性センサを設計するためのプルーフマス構造パラメータを含む新しい減衰定数モデルを報告した。実験的評価の結果から,減衰定数の間の相関関係とエッチング孔面積,プルーフマス面積,プルーフマスと検出電極間のギャップのような構造パラメータを調べた。その結果,構造パラメータに基づく新しい調整機能を導入することにより減衰定数モデルを提案した。提案した減衰定数モデルを用いることにより,著者らは,大面積プルーフマス構造を設計し,プルーフマスの機械騒音を予測できることを確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *減衰定数 ,  機械騒音 ,  *MEMS ,  構造パラメータ ,  エッチング ,  *構造設計 ,  *多層 ,  大面積 ,  *慣性センサ

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多層 ,  MEMS ,  慣性センサ ,  マス ,  構造設計 ,  減衰定数 ,  モデル