セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第3報)-犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験-

石川雄也; 中村満; 中村満; 高崎正也; 高島舞; 大竹尚登; 水野毅

文献

J-GLOBAL ID：201202289122664136 整理番号：12A1145300

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第3報)-犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験-

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資料名：
巻： 78 号： 8 ページ： 695-699 発行年： 2012年08月05日
JST資料番号： F0268C ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

本報では端部に曲率を有するセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜(S-DLC膜)の生成方法として犠牲層の利用を検討し,メッシュ形状に形成した犠牲層の利用により,犠牲層に囲まれた空間に形成したDLC膜は犠牲層近傍で曲率を有し,犠牲層を除去することにより端部に曲率を有するS-DLC膜が得られることを示した。このS-DLC膜ステータを用いて駆動実験を行い,従来のセグメント構造クロムDLC膜(S-Cr/DLC膜)ステータを用いた弾性表面波リニアモータに比べて推力が向上することを示した。これにより得た主な知見を次に示した。1)S-DLC膜を用いる弾性表面波リニアモータでの駆動特性の問題を改善するため,新しいS-DLC膜の生成方法を検討し,S-DLC膜の突起端部に曲率を得る生成方法として犠牲層を用いる方法を提案し,SR-DLC膜(端部に曲率を有するS-DLC膜)を用いたステータ振動子を製作したこと,2)非接触粗さ測定機により,SR-DLC膜の各突起の高さが均一かつ端部に曲率を有すること,3)駆動実験を行い,S/Cr-DLC膜ステータを用いる場合と比べて推力特性が向上すること,4)摩擦力測定を行い,突起端部に曲率を有することで,接触抗力が緩和できること。今後は曲率の異なるSR-DLC膜ステータを製作し,曲率の大きさと推力特性の関係について評価する。

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電動機 , 炭素とその化合物

引用文献 (18件)：

1) M. Kurosawa, M. Takahashi and T. Higuchi : Friction drive surface acoustic wave motor, ELSEVIER, Ultrasonics, 34, (1996), 234.
2) M. Kurosawa, M. Takahashi and T. Higuchi : Ultrasonic linear motor using surface acoustic waves, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 43, 5, (1996), 901.
3) T. Shigematsu, M. K. Kurosawa and K. Asai : Nanometer stepping drives of surface acoustic wave motor, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 50, 4, (2003), 376.
4) T. Shigematsu, M. K. Kurosawa : Miniaturized SAW motor with 100MHz drive frequency, 電気学会論文誌E, 126, 4 (2006), 166.
5) 高崎正也,黒澤実,樋口俊郎 : 弾性表面波リニアモータの長ストローク化,精密工学会誌, 71, 8, (2005), 990.

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