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著者 (4件)：
資料名：
巻： 60th ページ： ROMBUNNO.29P-PB4-9 発行年： 2013年03月11日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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宮野祐太郎
(埼玉大 工)
, 八木修平
(埼玉大 工)
, 土方泰斗
(埼玉大 工)
, 矢口裕之
(埼玉大 工)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
巻： 60th ページ： ROMBUNNO.29P-PB4-9 発行年： 2013年03月11日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
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シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*炭化ケイ素
, 炭化ケイ素 について
*層
, 層 について
*積層欠陥
, 積層欠陥 について
*熱酸化
, 熱酸化 について
基板
, 基板 について
*エピタキシャル層
, エピタキシャル層 について
*格子欠陥
格子欠陥 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*エピ層
, エピ層 について
*PLイメージング
PLイメージング について
分類 (3件)：
分類
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半導体薄膜
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BK14040E)
, 半導体の格子欠陥
半導体薄膜 について
(BK12040Q)
, 熱処理一般
半導体の格子欠陥 について
(WC03010I)
熱処理一般 について
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
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4H-SiC
, 4H-SiC について
エピ膜
, エピ膜 について
積層欠陥
, 積層欠陥 について
熱酸化
熱酸化 について
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