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J-GLOBAL ID：201302276643014041   整理番号：13A0850314

NbN薄膜を用いたテラヘルツ帯・力学インダクタンス検出器の作製と評価

著者 (11件)： 有吉誠一郎 (名古屋工大 大学院) ,  有吉誠一郎 (理研) ,  中島健介 (山形大 大学院) ,  齊藤敦 (山形大 大学院) ,  林賢人 (山形大 大学院) ,  田井野徹 (埼玉大 大学院) ,  田之上寛之 (埼玉大 大学院) ,  山田博信 (山形大 大学院) ,  大嶋重利 (山形大 大学院) ,  大谷知行 (理研) ,  BAE Jongsuck (名古屋工大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 60th  ページ： ROMBUNNO.28P-G10-7  発行年： 2013年03月11日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ニオブ化合物 ,  窒化物 ,  超伝導薄膜 ,  分光分析 ,  *サブミリ波 ,  *検出器 ,  インダクタンス ,  マグネトロンスパッタリング ,  応答

分類 (1件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (7件)： NbN ,  薄膜 ,  テラヘルツ ,  力学インダクタンス ,  検出器 ,  作製 ,  評価