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J-GLOBAL ID：201702252024772299   整理番号：17A0747128

優先配向を有するAlリッチC Al_xTi_1xN被覆の堆積と解析【Powered by NICT】

Deposition and Analysis of Al-Rich c-Al_xTi_1-xN Coating with Preferred Orientation

著者 (6件)： Paseuth Anongsack (Sumitomo Electric Hardmetal Corp., 776 Naie-chou, Sorachi-gun, Hokkaido, 079-0304, Japan) ,  Paseuth Anongsack (Hokkaido University, Kita 13 Nishi 8, Kita-ku, Sopporo, Hokkaido, 060-8628, Japan) ,  Yamagata Kazuo (Sumitomo Electric Hardmetal Corp., 776 Naie-chou, Sorachi-gun, Hokkaido, 079-0304, Japan) ,  Miura Akira (Hokkaido University, Kita 13 Nishi 8, Kita-ku, Sopporo, Hokkaido, 060-8628, Japan) ,  Higuchi Mikio (Hokkaido University, Kita 13 Nishi 8, Kita-ku, Sopporo, Hokkaido, 060-8628, Japan) ,  Tadanaga Kiyoharu (Hokkaido University, Kita 13 Nishi 8, Kita-ku, Sopporo, Hokkaido, 060-8628, Japan)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 100  号： 1  ページ： 343-353  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 準安定C Al_xT_1xNは工具産業において重要な,十分に確立された硬質皮膜である。機械的および熱的特性を改善するために,制御可能な優先結晶方位を有するAlリッチC Al_xTi_1xN皮膜は,工業プラントにおける低圧化学気相堆積(LP CVD)により作製した,AlCl_3TiCl_4NH_3Ar H_2前駆体系を用いた。それぞれ(100)および(111)優先配向と平均x値0.82と0.73のC Al_xTi_1xN被覆はC Al_0 9Ti_0 1N/c Al_0.6Ti_0 4NとC Al_0 0.80Ti_0 20N/c Al_0.50Ti_0 50Nの平均組成を持つcAl(Ti)N/c Ti(Al)Nナノラメラを含む。平均ラメラ期間は7.7および4.5nmであった。高分解能透過型電子顕微鏡はcAl(Ti)N/c Ti(Al)Nナノラメラを,<100>方向に沿って調節され,堆積したままの状態におけるc Al_xTi_1xNのコヒーレントスピノーダル分解することを示唆した。c Al_xTi_1xN皮膜の硬度は33から36GPaへ変化し,(100)または(111)優先配向に依存した。堆積したままの状態の残留応力測定は,(100)および(111)配向C Al_xT_1xN被覆のための1.8と4.6GPaの引張応力値を示した。この応力はc Al_xT_1xN被覆と炭化物基板の熱膨張係数の違いとcAl(Ti)N/c Ti(Al)Nナノラメラにおける整合応力によって発生する可能性がある。その場高温X線回折の結果は,1000°Cまで高い熱安定性を明らかにした。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱特性 ,  アルミニウム ,  残留応力 ,  *優先配向 ,  結晶方位 ,  引張応力 ,  化学蒸着 ,  *被覆 ,  スピノーダル分解 ,  皮膜 ,  炭化物 ,  熱安定性 ,  硬度 ,  熱膨張係数 ,  HRTEM ,  硬質皮膜

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 優先配向 ,  Al ,  堆積 ,  解析