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J-GLOBAL ID：201702272140103127   整理番号：17A0368669

MEMS応用のためのパルスレーザ蒸着を用いて作製したPr-Fe-B磁石の微細加工と微小磁化【Powered by NICT】

Micromachining and micro-magnetization of Pr-Fe-B magnets fabricated using pulsed laser deposition for MEMS applications

著者 (8件)： Fujiwara Ryogen (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan) ,  Fujiwara Ryogen (Research Fellow of Japan Society for the Promotion of Science, Japan) ,  Tanaka Shunya (Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan) ,  Hijikata Wataru (School of Engineering, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan) ,  Shinshi Tadahiko (Institute of Innovative Research, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan) ,  Hirotaki Keishi (Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan) ,  Yamashita Akihiro (Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan) ,  Nakano Masaki (Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 251  ページ： 219-224  発行年： 2016年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 永久磁石,マイクロリニアモータなどを用いたMEMSアクチュエータでは,磁石の微細加工とマイクロ磁化は磁場を増強し,濃縮するために必要である。本論文では,パルスレーザ蒸着(PLD磁石)により作製した磁石のためのこれらの処理技術を検討した。このタイプの磁石は百μmよりも厚いことができ,これは,高出力MEMSアクチュエータに適している。マイクロマシニングのために,著者らは,マイクロ溝付き金型を利用した。Pr_2~Fe_14Bターゲットを用いて堆積した磁性材料を充填した,研磨した磁石の表面粗さを減少させる十μmにした。その結果,幅100μmと50μm高,線形アレイ磁石のを実現した。マイクロ磁化では,外部磁場を印加しながらレーザ加熱の結果としての保磁力の低下による部分的磁化反転を調べた。照射部品への磁化反転を制限するために,非照射部品への熱伝導は熱的に断熱ガラス鋳型を用いることによる制限された,これはマイクロマシニングにより作製した。その結果,ポールピッチ200μmのマイクロ磁化磁石を実現した。磁石の表面から100μmの距離で平均測定した磁束密度は43mT(p p),シミュレーションで得られた値の88%に対応した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 磁束密度 ,  線形性 ,  *磁化 ,  磁化反転 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  外部磁場 ,  熱伝導 ,  マイクロマシニング ,  *磁石 ,  レーザ加熱 ,  アクチュエータ ,  *微細加工 ,  保磁力 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 高出力 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  磁石 ,  マイクロマシニング ,  磁化 ,  レーザ加熱

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (10件)： MEMS ,  応用 ,  パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  Pr ,  Fe ,  磁石 ,  微細加工 ,  微小 ,  磁化