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J-GLOBAL ID：201702280915384152   整理番号：17A1140594

可視光OCTによる半導体光導波路の非破壊・非接触計測

著者 (4件)： 石田一将 (和歌山大) ,  尾崎信彦 (和歌山大) ,  池田直樹 (物質・材料研究機構) ,  杉本喜正 (物質・材料研究機構)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.7a-PA5-1  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 非接触測定 ,  *光導波路 ,  可視光 ,  *半導体薄膜 ,  光干渉断層計 ,  *トモグラフィー ,  非破壊測定 ,  点像分布関数 ,  リソグラフィー ,  光集積回路 ,  光伝搬 ,  微細加工 ,  形状測定 ,  測定精度
準シソーラス用語： *光コヒーレントトモグラフィー ,  伝搬損失

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 可視光 ,  OCT ,  光導波路 ,  非接触計測