文献

J-GLOBAL ID：200902241032991652   整理番号：06A0449590

フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサの特性改善

Improvement of Resonant Frequency Properties of Ultrasonic Micro Sensor Using the Amorphous Fluorocarbon Polymer Film

著者 (6件)： 田中恒久 (大阪府産業技術総合研) ,  LEE Seungmock (大阪府産業技術総合研) ,  井上幸二 (大阪府産業技術総合研) ,  青柳誠司 (関西大) ,  山下馨 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-06  号： 1-18  ページ： 59-63  発行年： 2006年05月15日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ロボット用の障害物検知センサとして,超音波マイクロアレイセン...

シソーラス用語： 三次元測定 ,...
準シソーラス用語： 3次元計測

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分類 (2件)： 音響信号処理  (BB03050C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• S. Simizu, K. Yamamoto, C. Wang, Y. Satoh, H. anahashi, Y. Niwa: “Detection of Moving Object by Mobile Stereo Omni-directional System (SOS) ”, T. IEE Japan, Vol.124-C, No.6, pp. 1288-1295(2004)(in Japanese) 清水早苗, 山本和彦, 王彩華, 佐藤雄隆, 棚橋英樹, 丹羽義典:「全方向ステレオシステムを搭載した移動体による実環境からの動物体検出」, 電学論C, Vol.124, No.6, pp. 1288-1295(2004)
• T. Tanaka, Y. Mo, A. Tsuchitani, K. Inoue, S. Arita, Y. Suzuki, K. Yamashita, M. Okuyama: “Development of BBD Adding-Delay Architecyure for Ultrasonic Micro Array Sensor”, T. IEE Japan, Vol.125-E, No.4, pp. 188-195(2005)(in Japanese) 田中恒久, 莫要武, 土谷明, 井上幸二, 有田滋, 鈴木義彦, 山下馨奥山雅則:「超音波マイクロアレイセンサ用加算機能付きBBDの開発」電学論E, Vol.125, 4, pp. 188-195(2005)
• K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, and Y. Suzuki: “Arrayed ultrasonic microsensors with high-directivity for in-air use using PZT thin film on silicon diaphragm”, Sensors and Actuators A, Phs.97-98C, 1-3, pp. 302-307(2002)
• S. Lee, T. Tanaka, K. Inoue, K. Yamashita and M. Okuyama: “Sensitivity of Ultrasonic Sensor Structures Having Multilayer Diaphragm Structure”. HAP, 43, 12A, L1534-L1536(2004)
• D. Young: “Vibration of Rectangular Plates by the Ritz Method, Journal of Applied Mechanics”, 14, pp. 448-453(1950)

タイトルに関連する用語 (4件)： フッ素系樹脂 ,  超音波 ,  マイクロセンサ ,  特性改善