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J-GLOBAL ID：200902282436012893   整理番号：09A0858523

MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製

Fabrication of Multi-axis Tactile Sensor for Future Robots by Using Microelectromechanical Systems

著者 (8件)： 寒川雅之 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  金島岳 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  山下馨 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  山下馨 (京都工繊大 大学院工芸科学研究科) ,  野田実 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  野田実 (京都工繊大 大学院工芸科学研究科) ,  奥山雅則 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  野間春生 (国際電気通信基礎技術研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 109  号： 157(ED2009 102-115)  ページ： 41-46  発行年： 2009年07月23日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた...

シソーラス用語： *MEMS ,...
準シソーラス用語： マイクロカンチレバー

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分類 (2件)： その他の感覚  (EJ13040X) ,  磁気バブルデバイス  (NC03140P)

引用文献 (9件)：

• YOSHIDA, S. Development of a Microscopic Three-axis Tactile Sensor : Preliminary Examinations to Establish Sensing Algorithm by Using a Simulated Mockup. EuroHaptics08, June 11-13. 2008
• SOHGAWA, M. Tactile Array Sensor with Inclined Chromium/Silicon Piezoresistive Cantilevers Embedded in Elastomer. Transducers 2009, June 21-25. 2009, 284-287
• ONISHI, H. Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using NiCr Thin Film Gauge. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2009, 129
• 白土寛和. 「触る」ということ-ヒトとロボットの触覚-. 表面. 2003, 41, 145-152
• NODA, K. A shear stress sensor for tactile sensing with the piezoresistive cantilever standing in elastic material. Sensors and Actuators A. 2006, 127, 195-301

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  次世代ロボット ,  多軸 ,  触覚センサ ,  作製