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J-GLOBAL ID：200902240897081280   整理番号：09A1163478

Ni-Cr薄膜ゲージを用いた法線応力および剪断応力の触覚センサの安定性改良

Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge

著者 (11件)： ONISHI Hiroyuki (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  SOHGAWA Masayuki (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  TACHIBANA Hiroto (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  HUANG Yu Ming (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  KANASHIMA Takeshi (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  OKUYAMA Masanori (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  YAMASHITA Kaoru (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  YAMASHITA Kaoru (Graduate School of Sci. and Technol., Kyoto Inst. of technology) ,  NODA Minoru (Graduate School of Engineering Sci., Osaka Univ.) ,  NODA Minoru (Graduate School of Sci. and Technol., Kyoto Inst. of technology) ,  NOMA Haruo (ATR Knowledge Sci. Labs.)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 129  号： 11  ページ： 411-416 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 法線応力および剪断応力を検知し人間に優しい表面を持つマイクロカンチレバーでできた触覚センサを開発した。Si圧電抵抗ゲージは,大きな抵抗温度係数(TCR)に起因する大きな抵抗ドリフトを示し,その出力は不安定であるので,低抵抗ドリフトを持つ歪ゲージとしてNiCr薄膜を使った。真空蒸着法およびスパッタ蒸着法(RTおよび600°Cでの)により制作されたNiCr薄膜のTCRsは,それぞれ0.054%,0.082%,および0.0065%であり,Si(0.25%)よりはるかに低い。その結果,NiCr薄膜ゲージを使用することにより,抵抗ドリフトの低減とセンサの安定性が得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *触覚センサ ,  剪断応力 ,  法線応力 ,  *片持梁 ,  歪計 ,  ニッケル ,  クロム ,  *安定性 ,  ゴム ,  温度係数 ,  スパッタ蒸着 ,  真空蒸着 ,  エラストマ ,  抵抗温度係数 ,  *センサ
準シソーラス用語： *マイクロカンチレバー ,  ストレンゲージ

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (7件)：

• SOHGAWA, M. Detection of normal and shear stresses by tactile sensors. Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology 2008 (APCOT2008). 2008
• SOHGAWA, M. Studies on deflection control of bilayer cantilever fabricated by surface micromachining process on SOI wafer. Proc. of 23rd Sensor Symposium, Takamatsu, Japan, October, 2006. 2006, 165-169
• HUANG, Y. M. Studies on curvature deformation control of bilayer cantilever fabricated by surface micromachining of SOI wafer. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., Boston, MA, USA, 2006. 2006, 969
• ONISHI, H. Fabrication and Finite Element Analysis of Tri-axes Tactile Sensor by using Cr/Si Inclined Cantilevers and Elastomer. IEE JAPAN Annual Meeting, Fukuoka, Japan, 2008. 2008
• HUANG, Y. M. Fabrication of High Resolution Multi-axis Tactile Sensor by Using Polymer/Si Cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge. Technical Meeting on Physical Sensor, Sendai, Japan, 2008. 2008

タイトルに関連する用語 (7件)： Ni-Cr ,  薄膜 ,  ゲージ ,  法線応力 ,  剪断応力 ,  触覚センサ ,  安定性