特許

J-GLOBAL ID：200903009032725301

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及びこれを用いた電子部品

発明者： 峯岸 知典 ,  岩下 健一 ,  上田 充 ,  豊川 郁宏 ,  安藤 慎治
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  財団法人理工学振興会
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-137583
公開番号（公開出願番号）：特開2005-321466
出願日： 2004年05月06日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】水銀灯のi線領域における光線透過性に優れ、感度が良好であるともにアルカリ現像が可能であり、現像性が優れ、解像度も良好であるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】すくなくとも、下記一般式(1)【化1】 (式中、Xは二価の有機基であり、2つのRは各々独立に水素原子または1価の有機基である。)で表される構造単位を含むポリベンゾオキサゾール前駆体および放射線照射により酸を発生する化合物を含有させてポジ型感光性樹脂組成物を得る。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

少なくともポリベンゾオキサゾール前駆体および放射線照射により酸を発生する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物であって、 前記ポリベンゾオキサゾール前駆体が、下記一般式(1)

IPC (5件)：

G03F7/039 ,  C08G73/22 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/039 501 ,  C08G73/22 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (98件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025BG00 ,  2H025CB26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA09 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA03 ,  2H096JA04 ,  4J043PA01 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC016 ,  4J043PC145 ,  4J043PC146 ,  4J043QB15 ,  4J043QB34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA06 ,  4J043TA12 ,  4J043TA26 ,  4J043TA42 ,  4J043TA45 ,  4J043TA47 ,  4J043TA67 ,  4J043TA71 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB132 ,  4J043UB151 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB312 ,  4J043UB331 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043VA091 ,  4J043VA101 ,  4J043XA16 ,  4J043XB20 ,  4J043XB33 ,  4J043YA23 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50

引用特許：

出願人引用 (14件)

• 特公昭49-17374号公報
  
• 特開平4-31861号公報
  
• 特開平4-46345号公報
  
• 耐高熱性ポジ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造物の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-139694   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• ポリ-o-ヒドロキシアミド及びポリ-o-メルカプトアミドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245520   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• ポジ感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-367005   出願人：旭化成株式会社, クラリアントジャパン株式会社
• 特開昭54-109828号公報
  
• 特開昭56-24343号公報
  
• 特開昭60-100143号公報
  
• 特公昭64-60630号公報
  
• 米国特許4395482号明細書
  
• 特開昭52-13315号公報
  
• 特開平1-46862号公報
  
• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117270   出願人：旭化成工業株式会社

審査官引用 (2件)

• ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-348666   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-236711   出願人：住友ベークライト株式会社