特許
J-GLOBAL ID：200903009158189260

気体中微量物質の濃度測定方法

発明者：
佐々田 博之

佐々田 博之 について

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高 暁明

高 暁明 について

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吉田 尚弘

吉田 尚弘 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について

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国立大学法人東京工業大学

国立大学法人東京工業大学 について


代理人 (2件)： 平山 一幸 ,  海津 保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232793
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052955
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 試料気体中の微量物質の濃度を、装置コストを高くすることなく、且つ、ppm以下の濃度を高精度で測定できる、光共振器吸収セルの透過光スペクトルの半値幅を使用した気体中微量物質の濃度測定方法を提供する。【解決手段】 試料気体を導入した光共振器吸収セル1に、連続波レーザー光3を入力し、連続波レーザー光3の周波数を掃引すると共に、掃引する各々の周波数に光共振器吸収セル1が共振するように共振器長Lを調節して透過光4の強度を測定し、透過光強度4の最小値を与える周波数に共振する共振器長Lで、上記周波数を中心周波数として周波数掃引して試料気体の透過光スペクトル8を求め、透過光スペクトル8の半値幅と共振器干渉スペクトルの半値幅とから試料気体に含まれる被測定物質の濃度を求める。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光共振器吸収セルに試料気体を導入し、この光共振器吸収セルに連続波レーザー光を入射し、この連続波レーザー光の周波数を掃引すると共にこの掃引する各々の周波数に上記光共振器吸収セルが共振するように共振器長を調節して上記光共振器吸収セルを透過する透過光の強度を測定し、この透過光強度の最小値を与える周波数に共振する共振器長で、該最小値を与える周波数を中心周波数として周波数掃引して透過光スペクトルを求め、 上記透過光スペクトルの半値幅と、上記光共振器吸収セルの共振器干渉スペクトルの半値幅とから、上記試料気体に含まれる微量物質の濃度を求めることを特徴とする、光共振器吸収セルの透過光スペクトルの半値幅を使用した気体中微量物質の濃度測定方法。
IPC (2件)：
G01N 21/39 ,  G01J 3/42
FI (2件)：
G01N21/39 ,  G01J3/42 U
Fターム (22件)：
2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020BA15 ,  2G020CA02 ,  2G020CA12 ,  2G020CB42 ,  2G020CC23 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD22 ,  2G059AA01 ,  2G059BB02 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ04 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ18 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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