特許
J-GLOBAL ID:200903013874188344
異形ポリイミド光導波路およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-023262
公開番号(公開出願番号):特開2001-242334
出願日: 2001年01月31日
公開日(公表日): 2001年09月07日
要約:
【要約】【課題】 種々の光配線、分岐回路あるいは方向性結合器を含む光部品にも適用可能な異形ポリイミド光導波路の提供。【解決手段】 下部クラッド層と、該下部クラッド層上のコアと、該下部クラッド層および該コアを覆う上部クラッド層とからなり、該下部クラッド層、該コア、および該上部クラッド層はポリイミド材料を用いて作製されている埋め込み型異形ポリイミド光導波路において、前記コアは、コア幅対コア高さの比が1より大きくかつ2以下である矩形断面を有し、および該コアが形成されていない部分の下部クラッド層の厚さは、コア高さの0%より大きくかつ30%以下である範囲内で、該コアが形成されている部分の下部クラッド層の厚さよりも小さいことを特徴とする異形ポリイミド光導波路。
請求項(抜粋):
下部クラッド層と、該下部クラッド層上のコアと、該下部クラッド層および該コアを覆う上部クラッド層とからなり、該下部クラッド層、該コア、および該上部クラッド層はポリイミド材料を用いて作製されている埋め込み型異形ポリイミド光導波路において、前記コアは、コア幅対コア高さの比が1より大きくかつ2以下である矩形断面を有し、および該コアが形成されていない部分の下部クラッド層の厚さは、コア高さの0%より大きくかつ30%以下である範囲内で、該コアが形成されている部分の下部クラッド層の厚さよりも小さいことを特徴とする異形ポリイミド光導波路。
IPC (3件):
G02B 6/122
, G02B 6/12
, G02B 6/13
FI (3件):
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 N
, G02B 6/12 M
Fターム (5件):
2H047KA04
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA35
引用特許:
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