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J-GLOBAL ID：201002283581216810   整理番号：10A0009095

同軸ケーブル型マイクロ波伝送トーチを用いたプラズマ生成時における基板温度変化

Temperature change of substrate with plasma generated by the emission of micro-wave through the coaxial cable torch

著者 (5件)： 青山善行 (愛媛大 工) ,  八木秀次 (愛媛大 工) ,  小野和雄 (愛媛大 工) ,  神野雅文 (愛媛大 工) ,  本村英樹 (愛媛大 工)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2009  号： Vol.3  ページ： 45-46  発行年： 2009年09月12日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気開放中でプラズマを生成可能な同軸ケーブル型マイクロ波トーチを用いて,トーチ先端面と基板との隙間にヒートスポット状の熱源が誘起される場合の基板裏面での温度変化を測定した。熱移動に関する基本的な考察を行い,定常時の温度特性およびプラズマ領域を熱発生の生じているガスの1次元熱伝導体と見なして,実測から得た熱流束を適用しプラズマガス温度の推定を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： 同軸ケーブル ,  高周波溶接 ,  *プラズマ加工 ,  基板 ,  温度依存性 ,  熱流束 ,  *温度測定 ,  *DLC膜 ,  被覆
準シソーラス用語： マイクロ波溶接 ,  ダイヤモンド状薄膜 ,  被覆加工

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 同軸ケーブル ,  マイクロ波 ,  トーチ ,  プラズマ生成 ,  基板温度