センサ装置の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-053110
公開番号（公開出願番号）：特開2010-204069
出願日： 2009年03月06日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】被覆体の縁部が基板の一面から剥がれることを防止することができるセンサ装置の製造方法を提供する【解決手段】基板101の一面上の複数の触覚センサ200を取り囲むように、基板101の一面上にエラストマからなる枠部材111を接着剤により接着する。複数の触覚センサ200を被覆するように、基板101上の枠部材111の内側の空間に流動性のエラストマを充填し、硬化させる。それにより、枠部材111の内側に複数の触覚センサ200を被覆するエラストマからなる被覆層112が形成される。枠部材111と被覆層112とは被覆体110として一体化される。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

基板の一面に物理量を検出するための検出部を形成する工程と、前記検出部を取り囲むように高分子材料からなる枠部材を前記基板の前記一面に接着剤により接着する工程と、前記検出部を被覆するように前記基板上の前記枠部材の内側の空間に流動性の高分子材料を充填する工程と、前記流動性の高分子材料を硬化させることにより前記枠部材の内側に前記検出部を被覆する被覆層を形成するとともに前記枠部材と前記被覆層とを被覆体として一体化させる工程とを備えることを特徴とするセンサ装置の製造装置。

IPC (3件)：

G01L 1/18 , G01L 5/16 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01L1/18 A , G01L5/16 , H01L29/84 A

Fターム (23件)：

2F051AA10 , 2F051AB10 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA41 , 4M112CA42 , 4M112CA48 , 4M112CA53 , 4M112DA04 , 4M112DA08 , 4M112DA10 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112EA14 , 4M112EA18 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-136989 出願人：松下電工株式会社
触覚センサ、触覚センサの製造方法および触覚センサユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-182008 出願人：国立大学法人大阪大学, 株式会社国際電気通信基礎技術研究所
特開昭61-234064

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