特許
J-GLOBAL ID：200903021612029280
触覚センサ、触覚センサの製造方法および触覚センサユニット
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-182008
公開番号（公開出願番号）：特開2008-008854
出願日： 2006年06月30日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】外圧の大きさおよび方向を高感度で検出することができるとともに製造が容易な触覚センサ、およびその製造方法ならびに触覚センサユニットを提供することである。【解決手段】触覚センサ100は、カンチレバーCLおよびエラストマー層105を有する。カンチレバーCLは、ノンドープ層103aおよびドープ層103bを有する。ドープ層103bの格子定数はノンドープ層103aの格子定数より小さい。これにより、カンチレバーCLは湾曲している。ドープ層103bは、結晶シリコン膜にホウ素を添加することにより形成されている。エラストマー層105に外圧が加わることにより、カンチレバーCLが変形する。カンチレバーCLが変形することにより、ドープ層103bのピエゾ抵抗が変化する。したがって、ドープ層103bのピエゾ抵抗の変化を検出することにより、触覚センサ100に作用する外圧の大きさおよび方向を検出することができる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板上に第1の膜からなる支持部および第2の膜からなる可動部をこの順に備え、
前記第2の膜は半導体材料からなり、第1の格子定数を有する第1の層と、第1の格子定数よりも小さな第2の格子定数を有する第2の層とを順に含み、前記第1および第2の層の少なくとも一方は、不純物元素の添加により一導電型を有し、
前記第1の格子定数と前記第2の格子定数との差に起因して前記可動部が湾曲するとともに、前記可動部の一部が前記支持部を介して前記基板に固定され、
前記基板上の前記支持部および前記可動部が弾性を有する被覆層で封止されたことを特徴とする触覚センサ。
IPC (4件)：
G01L 1/18
, G01L 5/16
, H01L 29/84
, B25J 19/02
G01L1/18 A
, G01L5/16
, H01L29/84 Z
, B25J19/02
2F051AA10
, 2F051AB09
, 2F051BA07
, 3C007KV06
, 3C007KW01
, 3C007KX05
, 3C007KX08
, 3C007KX11
, 3C007MT04
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA41
, 4M112CA42
, 4M112CA47
, 4M112CA54
, 4M112DA04
, 4M112DA08
, 4M112DA09
, 4M112DA10
, 4M112DA12
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA14
, 4M112FA01
, 4M112FA20
出願人引用 (1件)
-
触覚センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-055205
出願人：日本電信電話株式会社
審査官引用 (5件)
全件表示
引用文献：
前のページに戻る
