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発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 松島 理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-229045
公開番号（公開出願番号）：特開2007-048497
特許番号：特許第5176051号
出願日： 2005年08月08日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
請求項（抜粋）：
FI (2件)：
引用特許：
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出願人/特許権者：
国立大学法人愛媛大学
国立大学法人愛媛大学 について
代理人 (1件)： 松島 理
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-229045
公開番号（公開出願番号）：特開2007-048497
特許番号：特許第5176051号
出願日： 2005年08月08日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】反応容器と、反応容器にアルゴンガスを供給する第1気体供給装置と、炭化水素を含む気体を供給する第2気体供給装置と、水素を供給するための第3気体供給装置と、反応容器に1GHz以上の周波数のマイクロ波を導入するマイクロ波導入装置を有し、マイクロ波導入装置は同軸線路である電極を有し、電極は電極本体部と電極本体部の周辺を覆う絶縁体を有し、電極先端のみでプラズマを発生させるようになし、800〜1013hPaの圧力でアルゴンガスのみを用いてプラズマを発生させそのプラズマを維持したまま炭化水素と水素をプラズマに導入するようになしたプラズマ発生装置。
IPC (2件)： FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
- ダイヤモンド状被膜形成方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-207912 出願人：三洋電機株式会社 - マイクロ波プラズマ発生方法、マイクロ波プラズマ発生装置および前記装置を使用してダイヤモンド薄膜を製造する方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願2003-145863 出願人：財団法人浜松科学技術研究振興会 - 高周波電力供給装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-197195 出願人：株式会社ユーハ味覚糖精密工学研究所, 森勇藏
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