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研究者
J-GLOBAL ID:200901017532347236   更新日: 2025年02月06日

PANART KHAJORNRUNGRUANG

カチョーンルンルアン パナート | Khajornrungruang Panart
所属機関・部署:
職名: 准教授
研究分野 (3件): 加工学、生産工学 ,  計測工学 ,  光工学、光量子科学
研究キーワード (6件): 化学的機械研磨 ,  ナノスケール可視化 ,  光応用計測 ,  Chemical Mechanical Polishing ,  Visualization in Nanoscale ,  Optical Applied Measurement
競争的資金等の研究課題 (11件):
  • 2021 - 2024 触媒活性型フラーレンナノ微粒子を用いた加工制御法に関する研究
  • 2016 - 2019 ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立
  • 2015 - 2018 フラーレン複合型スマート研磨微粒子を用いた難加工材研磨メカニズムに関する研究
  • 2001 - 2016 光回折による微小径工具の切れ刃位置のオンマシン計測
  • 2013 - 2015 機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析
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論文 (80件):
  • Yutaka Terayama, Panart Khajornrungruang, Jihoon Seo, Satomi Hamada, Yutaka Wada, Hirokuni Hiyama. Detachment Energy Evaluation in Nano-Particle Cleaning Using Lateral Force Microscopy. Applied Sciences. 2024. 14. 18. 8145-8145
  • Thitipat Permpatdechakul, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Aran Blattler, Jiraphan Inthiam. Experimental In-Situ Observatory on Brownian Motion Behavior of 105 nm Sized Silica Particles During Chemical Mechanical Polishing of 4H-SiC by an Evanescent Field. Int. J. Autom. Technol. 2024. 18. 1. 47-57
  • Yutaka Terayama, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Hibiki Fujishima, Satomi Hamada, Yutaka Wada, Hirokuni Hiyama. Direct observation of removal of SiO2 nano-particles from silica surfaces: an evanescent field microscopy study and shear flow acting moment. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SH
  • Nakasaki Tatsuya, Kinoshita Yushi, Khajornrungruang Panart, Otabe Edmund Soji, Suzuki Keisuke. 研磨のためのSUAM二重磁石システムの研究. International Journal of Automation Technology. 2023. 15. 4. 503-511
  • Thitipat Permpatdechakul, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki, Shotaro Kutomi. Study on a Novel Peeling of Nano-Particle (PNP) Process for Localized Material Removal on a 4H-SiC Surface by Controllable Magnetic Field. International Journal of Automation Technology. 2023. 17. 4. 410-421
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MISC (161件):
  • 竹入 淳平, 鈴木 恵友, 井浦 寛陽, 判谷 大輔, 森井 将希, 西澤 秀明, カチョーンルンルアン パナート. フラーレンを用いた新規炭素同素体の研磨微粒子に関する研究(第2報). 精密工学会学術講演会講演論文集. 2024. 2024S. 555-556
  • 森井 将希, 鈴木 恵友, 西澤 秀明, カチョーンルンルアン パナート, 判谷 太輔. 水酸化フラーレンを用いたSiCウェハの高効率研磨に関する研究. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2024. 2024S. 682-683
  • 黒江 紀太, Khajornrungruang Panart, 有馬 佑, 濵田 聡美, 和田 雄高, 檜山 浩國. エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究-第7報:デフォーカスを利用した近接光場領域外の超微粒子の高さ位置測定の試み. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2024. 2024S. 688-689
  • 後藤 大輝, Permpatdechakul Thitipat, 大内田 州伽, 水谷 響, Khajornrungruang Panart. ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究-第9報:多波長エバネッセント光による粒子径測定精度の検証. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2024. 2024S. 284-285
  • 大内田 州伽, 後藤 大輝, Khajornrungruang Panart. 分光プリズムを導入した多波長エバネッセント光学系の構築と分光性能の検証. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2024. 2024S. 329-330
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特許 (40件):
書籍 (1件):
  • 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術
    サイエンス&テクノロジー 2022 ISBN:4864282943
講演・口頭発表等 (276件):
  • 局所磁場制御による基板表面上の浮遊ナノ粒子に寄与する微小力計測に関する研究-第二報 多波長エバネッセント光を用いたSiC基板表面付着に要する磁力の見込み
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2024)
  • 局所磁場制御による基板表面上の浮遊ナノ粒子に寄与する微小力計測に関する研究-多波長エバネッセント光による微小力評価の試み
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2023)
  • エバネッセント光を用いたナノスケール洗浄現象の可視化に関する研究-(被洗浄表面近傍の流速分布観測)
    (日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集 2022)
  • SiC表面上におけるナノ砥粒挙動の数値解析-シリカ砥粒が被ポリシング表面への付着形態
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2021)
  • 近接場光を応用した工具刃先計測の数値シミュレーションによる散乱光特性の評価-第2報 : 工具材への金属モデルの適用
    (精密工学会学術講演会講演論文集 2021)
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Works (8件):
  • ナノスケール加工現象における作用単粒子の三次元空間追跡法及び粒径計測法の確立
    2016 - 2019
  • 機上ポリシング加工現象観察装置の開発およびその現象解析
    2013 - 2015
  • レーザ一次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発
    2011 - 2012
  • パルスレーザ光を用いた回転工具形状測定装置ならびにシステム
    2011 - 2012
  • (AS2311249B)レーザー次回折光を用いた超微細穴加工工具の高精度化及び計測システムの開発
    2011 -
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学歴 (3件):
  • - 2005 大阪大学 大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻
  • - 2002 大阪大学 大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻
  • - 2000 大阪大学 工学部 機械工学科
学位 (3件):
  • 博士(工学) (大阪大学)
  • 修士(工学) (大阪大学)
  • 学士(工学) (大阪大学)
経歴 (8件):
  • 2019 - 現在 九州工業大学 大学院情報工学研究院 知的システム工学研究系 先進機械部門 准教授
  • 2016 - 2023 北九州工業高等専門学校 生産工学専攻 非常勤講師
  • 2016 - 2019 九州工業大学 大学院情報工学研究院 機械情報工学研究系 准教授
  • 2014 - 2016 九州工業大学 大学院情報工学研究院 機械情報工学研究系 助教
  • 2013 - 2014 クラークソン大学(米国) 特任准教授
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委員歴 (9件):
  • 2011 - 現在 公益財団法人 精密工学会 アフィリエイト委員会
  • 2008 - 現在 公益財団法人 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
  • 2008 - 現在 公益社団法人 精密工学会 知的ナノ計測専門委員会
  • 2022 - 2023 公益財団法人 精密工学会 2023年度精密工学会秋季大会 実行委員・国際シンポジウム委員
  • 2014 - 2018 日本光学会 事業・企画担当幹事
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受賞 (4件):
  • 2024/09 - Fuji Technology Press Ltd. the IJAT Best Paper Award 2024 Study on a Novel Peeling of Nano-Particle (PNP) Process for Localized Material Removal on a 4H-SiC Surface by Controllable Magnetic Field
  • 2013/06 - 公益財団法人 工作機械技術振興財団 工作機械技術振興財団奨励賞 光回折を用いたCMP用ポリシングパッドの表面形状評価に関する研究
  • 2005/03 - 公益社団法人自動車技術会 自動車技術会大学院研究奨励賞 光回析ゲージ法を用いたマイクロ工具切れ刃プロファイルの オンマシン計測に関する研究
  • 2003/06 - 一般社団法人 型技術協会 第13回型技術協会「奨励賞」 レーザ回析法による小径工具切れ刃先端の3次元プロファイル計測
所属学会 (5件):
The Optical Society of Japan ,  ヨロッパ精密工学会 ,  砥粒加工学会 ,  日本機械学会 ,  精密工学会
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